X熒光光譜(1) 每個元素的特征X熒光有不同的波長和能量，波長色散和能量色散就是利用它的波長和能量的不同來檢測。波長色散利用晶體分光，把不同波長的特征X射線分開，根據(jù)Bragg公式和Moseley定律做元素的定性分析；根據(jù)元素含量越高，射線的強(qiáng)度就越強(qiáng)，通過一定的方法來校準(zhǔn)和校正，進(jìn)行定量分析。能量色散不用晶體分光，直接用半導(dǎo)體檢測器檢測樣品的特征X射線的能量，進(jìn)行定性和定量分析(2) 有能量、波長、全反射、同步輻射、X射線微熒光、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光。

X熒光光譜光使氣體電離，在電場的作用下，電離后的電子和正離子分別向兩極運動，在電子向陽極的運動過程中逐漸被加速而獲得更高的動能。這些電子與氣體分子碰撞時，將引起進(jìn)一步的電離，產(chǎn)生大量的電子涌到陽極，產(chǎn)生一次雪崩效應(yīng)，起到放大的作用。實際上一個光子就產(chǎn)生一次雪崩，用一個計數(shù)器來探測所產(chǎn)生的電脈沖就可計算光子的數(shù)量。

X熒光光譜(1) 原子序數(shù)較低的元素（或基體）對能量較高的譜線吸收系數(shù)較低，因此厚度也就大一點(2) Sb的K線能量較高，能穿透更厚的樣品（相對本樣品中的其他元素的特征射線），所以飽和厚度也就比其他元素厚。