X熒光光譜儀(1)熒光元素分析受限于標(biāo)樣難以制備或試樣的均勻性，多數(shù)只能做為一種品質(zhì)的管控方法，準(zhǔn)確度相對化學(xué)分析較低。 (2)素分析中的檢量線法就是以標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)為基礎(chǔ)進行標(biāo)準(zhǔn)曲線分析，如果實際樣品和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)不一致，那么分析結(jié)果肯定也不會很準(zhǔn)確，只能做參考。 (3)用基本參數(shù)法測試金屬時，果測試樣品里含有 C、H、O 等輕元素，會出現(xiàn)誤差，因為儀器無法識別這些元素。

X熒光光譜儀X 射線熒光分析儀的優(yōu)點： (1)采樣方式靈敏，如 ESI英飛思 SEA 系列配有較大檢測室 ，多數(shù)試樣可直接進行檢測?？梢詼p少取樣帶來的損耗，對于已壓鑄好的機械零件可以做到無損檢測，而不毀壞樣品。 (2)測試速率高，可以在較少時間內(nèi)進行大量樣品測試，分析結(jié)果可以通過計算機直接連網(wǎng)輸出。 (3)分析速度較快。 (4)對于純金屬可采用無標(biāo)樣分析，精度能達(dá)分析要求。 (5)不需要實驗室與操作人員，不引入其它對環(huán)境有害的物質(zhì)。 X 射線熒光分析儀的缺點： (1) 關(guān)于非金屬和界于金屬和非金屬之間的元素很難做到檢測。在用基本參數(shù)法測試時，如果測試樣品里含有 C、H、O 等元素，會出現(xiàn)誤差。 (2)不能作為仲裁分析方法，檢測結(jié)果不能作為根據(jù)，不能區(qū)分元素價態(tài)。 (3)對于鋼鐵等含有非金屬元素的合金，需要代表性樣品進行標(biāo)準(zhǔn)曲線繪制，分析結(jié)果的是建立在標(biāo)樣化學(xué)分析的基礎(chǔ)上。 (4)標(biāo)準(zhǔn)曲線模型需求不時更新，在儀器發(fā)生變化或標(biāo)準(zhǔn)樣品發(fā)生變化時，標(biāo)準(zhǔn)曲線模型也要變化。

X熒光光譜儀(1) 要分清楚關(guān)注的對象，熒光分析儀較常見的兩類為膜厚儀與元素分析儀，其針對的目標(biāo)不同。如測厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜檢量線法,測元素則用塊體 FP 法與塊體檢量線法。