普發(fā)分子泵維修、抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開(kāi)氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。 全文

渦輪分子泵故障處理主要包括以下幾個(gè)方面：1.極限真空度低的處理方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)極限真空度過(guò)低時(shí)，首先要檢查前級(jí)泵的匹配情況和抽氣量是否充足；其次要查找系統(tǒng)是否存在漏氣現(xiàn)象并進(jìn)行消除操作；還需要對(duì)渦輪分子泵.. 全文

檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題，Edwards真空分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵.. 全文

半導(dǎo)體真空泵的維修涉及多個(gè)關(guān)鍵步驟和注意事項(xiàng)，以下是關(guān)于其維修的簡(jiǎn)要說(shuō)明：首先需準(zhǔn)確診斷故障。通過(guò)觀(guān)察泵的外觀(guān)、聽(tīng)運(yùn)行聲音及測(cè)量真空度等方式初步判斷原因。常見(jiàn)故障包括吸力不足、噪音過(guò)大等；應(yīng)針對(duì)具體問(wèn).. 全文