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當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵出現(xiàn)故障無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。
Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵
當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。

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