光譜儀(1) 用熒光Ｘ射線法算出單位面積的質(zhì)量（目標(biāo)元素的附著量：g/m2）非實際質(zhì)量。不能檢出鍍層里空隙的存在。用附著量除以目標(biāo)元素的密度（g/cm3）換算成厚度（mm）。實際鍍層密度不同的話，會產(chǎn)生誤差。 (2)測厚度可選用無標(biāo)樣的薄膜 FP 法，也可選用標(biāo)準(zhǔn)曲線法，標(biāo)準(zhǔn)曲線法需要樣品，其標(biāo)稱值好覆蓋產(chǎn)品規(guī)格的上下限。 (3)測試厚度主要有兩種方法：發(fā)射法和吸收法，前者測鍍層元素的強度，后者測基體元素的強度。

光譜儀(1) 不同的 X 射線管所發(fā)生的 X 射線能量分布是不一樣的。熒光 X 射線的激發(fā)效率取決 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射線能量。。 (2) 在陽極上，根據(jù)目的不同，有鎢、鉬、銠、鉻、銅等種類。本公司在 SFT（熒光 X射線膜厚儀）中使用的是鎢、鉬，在 SEA（熒光 X 射線分析儀）中使用的是銠、鉬（SEA5000）。鎢靶適用于 Sn 和 Ag 等的發(fā)生高能量熒光 X 射線的元素，是一種可以適用于原子序號22（Ti）以上元素的燈。鉬靶適用于 Au（特別是極薄）等的元素測定，因為 L 線可以用于激發(fā)，所以在 Al 等的輕元素測定中。銠靶適用于進(jìn)行元素分析時。從特性角度來講，與鉬靶類似，但是在進(jìn)行 Zr 等的測定時，可以說雙鉬靶的元素分析所適應(yīng)的范圍更廣。因為銠靶不能用于 Pd 的測定，所以在 SEA5000 中，鉬靶為標(biāo)配品。

光譜儀(1) 不同樣品的抽真空時間是不一樣的，有的較短，有的較長，如氧化鋁樣品就需要較長的時間來抽真空，可能和樣品表面吸附的水份有關(guān)。除了樣品外，還應(yīng)該檢查一下系統(tǒng)是否漏氣，真空泵的能力是否下降。 (2) 如果是燒結(jié)的樣品，抽的時間也比較長.表明多孔的結(jié)構(gòu)，比較容易吸附空氣或水分.所以抽真空時間長。