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光譜儀光使氣體電離，在電場的作用下，電離后的電子和正離子分別向兩極運動，在電子向陽極的運動過程中逐漸被加速而獲得更高的動能。這些電子與氣體分子碰撞時，將引起進一步的電離，產(chǎn)生大量的電子涌到陽極，產(chǎn)生一次雪崩效應，起到放大的作用。實際上一個光子就產(chǎn)生一次雪崩，用一個計數(shù)器來探測所產(chǎn)生的電脈沖就可計算光子的數(shù)量。
光譜儀(1) 原子序數(shù)較低的元素（或基體）對能量較高的譜線吸收系數(shù)較低，因此厚度也就大一點(2) Sb的K線能量較高，能穿透更厚的樣品（相對本樣品中的其他元素的特征射線），所以飽和厚度也就比其他元素厚。
光譜儀光管產(chǎn)生的99%以上的能量是轉換成了熱能，大量的熱能必需要用循環(huán)流動的水來帶走，還不能用一般的水，必須是高純度的去離子水，要不一導電，光管就可能報廢了，離子交換樹脂就是去離子的，比如我們剛換了循環(huán)水的時候看見電導率挺高的，運行一陣就降下來了，這就是離子交換樹脂起的作用。

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