熒光光譜儀(1) 取各種標(biāo)準(zhǔn)樣品來(lái)測(cè)試（例如銅合金、鋁合金、PVC、PE 樣品等），每種樣品用相對(duì)應(yīng)的方法來(lái)測(cè)試（例如銅合金就用金屬 FP 法來(lái)測(cè)試），計(jì)算與標(biāo)準(zhǔn)值之間差距。 每個(gè)樣品測(cè)試 3－5 次，取均值，然后對(duì)比所用的儀器的允許誤差就可以知道是否合格。文件上的誤差范圍只是一個(gè)參考，可以自己選擇一個(gè)對(duì)本公司的誤差范圍作為儀器的標(biāo)準(zhǔn)誤差允許范圍。 (2) 針對(duì) EDXRF 目前有《半導(dǎo)體探測(cè)器 X 射線能譜儀通則》《金屬覆蓋層覆蓋層厚度測(cè)量 X 射線光譜方法》等相關(guān)，另每個(gè)公司和機(jī)構(gòu)內(nèi)部都有自己一套的標(biāo)樣測(cè)試重復(fù)性和穩(wěn)定性要求。ESI英飛思 儀器標(biāo)準(zhǔn)，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 時(shí)相對(duì)誤差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 時(shí)相對(duì)誤差不得大于 30% 。

熒光光譜儀(1) 不同樣品的抽真空時(shí)間是不一樣的，有的較短，有的較長(zhǎng)，如氧化鋁樣品就需要較長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)抽真空，可能和樣品表面吸附的水份有關(guān)。除了樣品外，還應(yīng)該檢查一下系統(tǒng)是否漏氣，真空泵的能力是否下降。 (2) 如果是燒結(jié)的樣品，抽的時(shí)間也比較長(zhǎng).表明多孔的結(jié)構(gòu)，比較容易吸附空氣或水分.所以抽真空時(shí)間長(zhǎng)。

熒光光譜儀(1) 用熒光Ｘ射線法算出單位面積的質(zhì)量（目標(biāo)元素的附著量：g/m2）非實(shí)際質(zhì)量。不能檢出鍍層里空隙的存在。用附著量除以目標(biāo)元素的密度（g/cm3）換算成厚度（mm）。實(shí)際鍍層密度不同的話，會(huì)產(chǎn)生誤差。 (2)測(cè)厚度可選用無(wú)標(biāo)樣的薄膜 FP 法，也可選用標(biāo)準(zhǔn)曲線法，標(biāo)準(zhǔn)曲線法需要樣品，其標(biāo)稱(chēng)值好覆蓋產(chǎn)品規(guī)格的上下限。 (3)測(cè)試厚度主要有兩種方法：發(fā)射法和吸收法，前者測(cè)鍍層元素的強(qiáng)度，后者測(cè)基體元素的強(qiáng)度。