如果真空泵有吸入雜質(zhì)、粉塵、水分、化學(xué)物質(zhì)等潛在危險(xiǎn)，應(yīng)該在真空泵進(jìn)氣口位置加裝精密過(guò)濾器，如果雜質(zhì)、粉塵、水份量過(guò)大，必須加裝儲(chǔ)蓄罐進(jìn)行過(guò)濾，以防止粉塵以及水份化學(xué)物質(zhì)等雜質(zhì)進(jìn)入真空泵。 全文

Edwards進(jìn)口分子泵（1）轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速比做到20000r/min，故分子泵啟動(dòng)時(shí)間很長(zhǎng)。 （2）汽體處在分子結(jié)構(gòu)流情況，故必須配備前級(jí)泵，一般使用旋片泵做為前級(jí)泵。 全文

操作簡(jiǎn)單方便使用 Edwards真空分子泵維修控制系統(tǒng)抽氣口及氣路連接口使用快速連接結(jié)構(gòu)，使安裝過(guò)程變得簡(jiǎn)單方便，只需用卡箍即可實(shí)現(xiàn)安裝。 全文

根據(jù)使用經(jīng)驗(yàn)及統(tǒng)計(jì)資料，規(guī)定出相應(yīng)的維修程序，每隔一定時(shí)間就進(jìn)行一次維慘，對(duì)設(shè)備中某些零部件進(jìn)行吏換或修復(fù)，以防止整機(jī)發(fā)生大面積功能性故障。 全文