Edwards二手分子泵不能在大氣中打開(kāi)，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵 全文

安捷倫真空泵重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行，一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次，因清洗時(shí)在真空泵中會(huì)留有一定量易揮發(fā)物，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。 全文

真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開(kāi)或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

渦輪分子泵故障處理主要包括以下幾個(gè)方面：1.極限真空度低的處理方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)極限真空度過(guò)低時(shí)，首先要檢查前級(jí)泵的匹配情況和抽氣量是否充足；其次要查找系統(tǒng)是否存在漏氣現(xiàn)象并進(jìn)行消除操作；還需要對(duì)渦輪分子泵.. 全文