微流控涂層膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理是基于磁通量的變化和磁阻的測(cè)量來確定涂層厚度的。在測(cè)量過程中，儀器利用特定的探頭，將磁通量從探頭經(jīng)過非鐵磁涂層，流入到鐵磁基體。這一過程中，涂層的存在會(huì)影響磁通量的流動(dòng)，涂層的厚度越厚，磁通量受到的影響就越大，磁阻也會(huì)相應(yīng)增大。具體來說，當(dāng)探頭靠近被測(cè)樣品時(shí)，儀器會(huì)自動(dòng)輸出測(cè)試電流或測(cè)試信號(hào)，產(chǎn)生一定的磁場(chǎng)。這個(gè)磁場(chǎng)會(huì)在涂層和基體之間產(chǎn)生磁通量的流動(dòng)。由于涂層是非鐵磁性的，它會(huì)阻礙磁通量的流動(dòng)，導(dǎo)致磁通量減少，磁阻增大。涂層越厚，這種阻礙作用就越明顯，磁通量就越小，磁阻就越大。微流控涂層膜厚儀通過精確測(cè)量這種磁通量的變化和磁阻的大小，就可以反推出涂層的厚度。這種測(cè)量方法具有非接觸、高精度、快速響應(yīng)等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于各種涂層厚度的測(cè)量，如金屬涂層、非金屬涂層等?？傊?，微流控涂層膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理是通過測(cè)量磁通量的變化和磁阻的大小來確定涂層厚度的，這種原理為涂層厚度的精確測(cè)量提供了一種有效的方法。