ULVAC真空泵作為精密真空設(shè)備的部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、鍍膜等行業(yè)。其穩(wěn)定的運(yùn)行直接影響生產(chǎn)工藝質(zhì)量，而科學(xué)的維修保養(yǎng)是延長(zhǎng)設(shè)備壽命的關(guān)鍵。以下針對(duì)常見(jiàn)故障提供系統(tǒng)化維修方案： 一、典型故障診.. 全文

當(dāng)愛(ài)德華分子泵維修出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿(mǎn)空氣后更換備用分子泵。 全文

Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200單級(jí)旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是廢氣收集真空泵選擇之一。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)Edwards二手分子泵之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文