真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

Edwards真空分子泵低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

檢查Alcatel進(jìn)口分子泵管路及相接處是不是松動(dòng)情況。擅長(zhǎng)轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵，不用交費(fèi)試看真空泵是否靈活 全文

渦輪分子泵故障處理主要包括以下幾個(gè)方面：1.極限真空度低的處理方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)極限真空度過低時(shí)，首先要檢查前級(jí)泵的匹配情況和抽氣量是否充足；其次要查找系統(tǒng)是否存在漏氣現(xiàn)象并進(jìn)行消除操作；還需要對(duì)渦輪分子泵.. 全文