真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道? 原因：油池破裂或密封不良。 解決方法：檢查油池。 全文

檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards進(jìn)口分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵.. 全文

Edwards進(jìn)口分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。 全文

渦輪分子泵損壞的原因可分為設(shè)計(jì)上的和使用上的兩方面的原因造成的。在設(shè)計(jì)上，有材料方面的問題。如材質(zhì)的選擇、毛坯的管理(如轉(zhuǎn)子主軸加工后要垂直放置防彎變形)材料缺陷的檢查等；在使用上存在的問題也不少，在.. 全文