關(guān)緊Varian進(jìn)口真空泵排水口路的截止閥門和進(jìn)出口氣壓表及進(jìn)口負(fù)壓力表。 全文

當(dāng)然，任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。它的缺點(diǎn)：(1) 設(shè)備費(fèi)用高；(2) 對(duì)顆粒物或沉積物敏感；(3) 噪音與振動(dòng)；(4) 破碎問題；(5) 暴露大氣易引起事故 全文

分子泵的抽速曲線是描述其在不同真空度下的排氣速率變化的重要工具。該曲線的橫坐標(biāo)代表真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)或真空度，縱坐標(biāo)則代表分子泵在該壓強(qiáng)下的排氣速度（即單位時(shí)間內(nèi)排出的氣體體積）。當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力較大時(shí)，隨.. 全文

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