分子泵是一種用于產(chǎn)生高真空或超高真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造和精密儀器領(lǐng)域。其功能是通過物理方式將密閉空間內(nèi)的氣體分子持續(xù)排出，從而將氣壓降至10???至10?11帕的超低范圍，為敏感工藝提供無干擾的真空環(huán)境。工作原理分子泵主要分為渦輪分子泵和牽引分子泵兩類。渦輪分子泵通過多層高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片（轉(zhuǎn)速可達(dá)3萬-9萬轉(zhuǎn)/分鐘）與靜止定子葉片的交替組合，對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞。當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的葉片碰撞時(shí)，會(huì)沿著特定方向被逐級(jí)壓縮，終被前級(jí)泵排出。牽引分子泵則依?扛咚僮謀礱嬗肫宸腫蛹淶釀ぶ妥饔檬迪質(zhì)湓?，适合处理郊?xì)咼芏鵲鈉濉?/p>應(yīng)用1. 半導(dǎo)體制造：在光刻機(jī)、離子注入機(jī)中維持潔凈真空，防止納米級(jí)電?肺廴荊?/p>2. 科研儀器：電子顯微鏡、粒子?⒅?譜儀等需要超高真空保障檢測精度；3. 航天科技：組件測試時(shí)模擬太空真空環(huán)境；4. 鍍膜工藝：光學(xué)鍍膜、光伏電池生產(chǎn)中的物理氣相沉積（PVD）。 技術(shù)優(yōu)勢相比油擴(kuò)散泵，現(xiàn)代分子泵采用磁懸浮軸承技術(shù)，完全無油污染，啟動(dòng)時(shí)間縮短至30分鐘內(nèi)。其抽氣速度可達(dá)1000升/秒以上，且能直接連接被抽容器，無需冷阱裝置。特殊設(shè)計(jì)的復(fù)合分子泵甚至能處理輕微粉塵環(huán)境。### 使用要點(diǎn)需要配合羅茨泵等前級(jí)泵組成抽氣系統(tǒng)，工作溫度需控制在-10℃至40℃。日常維護(hù)需重點(diǎn)關(guān)注軸承潤滑和振動(dòng)監(jiān)測，典型使用壽命可達(dá)5-8年。隨著科技發(fā)展，新一代分子泵正朝著10?13帕極限真空和智能化監(jiān)控方向演進(jìn)。作為現(xiàn)代精密工業(yè)的"真空心臟"，分子泵的技術(shù)水平直接關(guān)系到芯片制程、新材料研發(fā)等領(lǐng)域的發(fā)展進(jìn)程，其重要性在科技革新中日益凸顯。