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渦輪分子泵負(fù)載太大
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  • 渦輪分子泵負(fù)載過(guò)大主要源于過(guò)高的氣體負(fù)荷(前級(jí)真空不足、大漏氣、工藝放氣)或內(nèi)部機(jī)械故障(軸承損壞、摩擦、異物)。應(yīng)首先快速排查前級(jí)壓力和系統(tǒng)泄漏/工藝放氣情況。若排除氣體負(fù)荷問(wèn)題,則極可能是泵內(nèi)部機(jī)械故障,需檢修。忽視此問(wèn)題會(huì)嚴(yán)重?fù)p害設(shè)備。

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