渦輪分子泵作為高真空系統(tǒng)的部件，其性能直接影響實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)質(zhì)量?？茖W(xué)、規(guī)范的維護(hù)保養(yǎng)是保障其長期運(yùn)行的關(guān)鍵：

日常維護(hù)(每次使用后/每日)：

*表面清潔：使用無絨布清潔泵體外殼、法蘭接口，防止灰塵進(jìn)入。

*環(huán)境監(jiān)控：確保泵體周圍通風(fēng)良好，無熱源、振動(dòng)源，環(huán)境溫度、濕度在允許范圍內(nèi)。

*運(yùn)行：啟動(dòng)/運(yùn)行中異常噪音（尖銳摩擦、撞擊聲）、觀察振動(dòng)是否異常增大。

*冷卻檢查：確認(rèn)水冷系統(tǒng)流量、溫度正常（如適用）；風(fēng)冷散熱器無積塵堵塞。

*基礎(chǔ)參數(shù)：記錄啟動(dòng)時(shí)間、達(dá)到工作真空度時(shí)間、極限真空度、運(yùn)行電流等基礎(chǔ)參數(shù)，便于趨勢分析。

定期維護(hù)(按運(yùn)行小時(shí)/月)：

*前置過濾檢查：清潔或更換入口處防塵網(wǎng)/粗抽過濾器。

*冷卻系統(tǒng)維護(hù)：水冷系統(tǒng)檢查水質(zhì)、清理過濾器；風(fēng)冷系統(tǒng)除塵。

*電源與接口檢查：檢查電源線、信號(hào)線連接是否牢固可靠。

*真空密封檢查：檢查各法蘭接口密封圈(O型圈)狀態(tài)，清潔密封槽，必要時(shí)更換老化或損壞的密封圈（使用真空油脂）。

*控制器狀態(tài)：檢查控制器面板指示燈、報(bào)警信息是否正常。