渦輪分子泵是現(xiàn)代高真空和超高真空系統(tǒng)的動力源，其極限真空性能是衡量其技術(shù)水平的關(guān)鍵指標(biāo)。理論上，渦輪分子泵的極限真空主要由其壓縮比決定，現(xiàn)代泵對氮氣的壓縮比可達10^10以上，理論上可達到極低的壓力（遠低于10^-10Pa）。然而，實際應(yīng)用中，渦輪分子泵的極限真空遠未觸及理論邊界，通常被限制在10^-7Pa至10^-9Pa范圍（甚至更高）。
渦輪分子泵的理論極限真空潛力巨大，但實際可達的極限真空（通常在10^-7Pa至10^-10Pa）是泵自身性能、系統(tǒng)設(shè)計、材料工藝及操作維護共同作用的結(jié)果。要逼近其理論極限，必須系統(tǒng)性地材料放氣、微泄漏、前級污染等現(xiàn)實瓶頸，其中高溫烘烤和低放氣材料/軸承技術(shù)尤為關(guān)鍵。理解這些限制因素，是設(shè)計和優(yōu)化高/超高真空系統(tǒng)的基石。
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