EBL傳感器

為滿足納米級(jí)電子束曝光系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)設(shè)計(jì)了一個(gè)納米圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路，并采用機(jī)控制。機(jī)通過(guò)圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路去驅(qū)動(dòng)等儀器的掃描線圈，5418001國(guó)六液位傳感器信譽(yù)，從而使電子束偏轉(zhuǎn)并控制束閘的通斷。通過(guò)可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集以及掃描場(chǎng)的校正。配合精密定位的工件臺(tái)，還可以實(shí)現(xiàn)曝光場(chǎng)的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或?qū)攵喾N通用格式的曝光圖形。

曝照所需電子束是由既有的產(chǎn)生的電子束(離子束)提供。

電子射出后，受數(shù)千乃至數(shù)萬(wàn)伏特之加速電壓驅(qū)動(dòng)沿顯微鏡中軸向下移動(dòng)，并受中軸周圍磁透鏡作用形成聚焦電子束而對(duì)樣本表面進(jìn)行掃描與圖案刻畫(huà)。掃描方式可分為循序掃描與矢量掃描。

掃描過(guò)程中，電子束的開(kāi)啟與阻斷是由電子束阻斷器所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方，其功效為產(chǎn)生一大偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)使電子束完全偏離中軸而無(wú)法到達(dá)樣本。

(三) 阻劑(光阻)

阻劑是轉(zhuǎn)移電子束曝照?qǐng)D案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會(huì)改變阻劑材料的特性，再經(jīng)過(guò)顯影后，曝照(負(fù)阻劑)或未曝照(正阻劑)的區(qū)域?qū)?huì)留在基材表面，顯出所設(shè)計(jì)的微影圖案，而后續(xù)的制程將可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到阻劑以下的基材中。

熄火器

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緩速器對(duì)汽車的作用

緩速器是大型車輛（卡車、客車）的輔助制動(dòng)裝置，使質(zhì)量較大的車輛平穩(wěn)減速而不消耗制動(dòng)系統(tǒng)，小車沒(méi)有。

目前用的較多的是電磁緩速器，還有液渦輪緩速器：

電磁緩速器：相當(dāng)于在傳動(dòng)軸上裝了個(gè)“發(fā)電機(jī)”，不通電時(shí)，5418001國(guó)六液位傳感器廠家，無(wú)接觸無(wú)磨損。需要減速時(shí)，5418001國(guó)六液位傳感器，司機(jī)將儀表板上的開(kāi)關(guān)打開(kāi)，傳動(dòng)軸便受到電磁場(chǎng)的阻力，達(dá)到制動(dòng)的目的。再踩油門時(shí)會(huì)自動(dòng)斷電。優(yōu)點(diǎn)是無(wú)磨損，5418001國(guó)六液位傳感器純新，缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)龐大。

液渦輪緩速器：在變速箱箱殼后端增加一個(gè)渦輪室，當(dāng)制動(dòng)電路開(kāi)啟后，使變速箱油在渦輪中加壓產(chǎn)生阻尼達(dá)到制動(dòng)效果，無(wú)磨損但要增加散熱，國(guó)內(nèi)少有。

另外還有一些輔助制動(dòng)結(jié)構(gòu)：

排氣輔助制動(dòng)：大型柴油車發(fā)動(dòng)機(jī)排氣歧管與排氣管連接處有一個(gè)碟閥，保持掛擋狀態(tài)，撥動(dòng)儀表板上的制動(dòng)關(guān)閉，此閥關(guān)閉，造成發(fā)動(dòng)機(jī)悶車從而達(dá)到制動(dòng)效果，再踩油門時(shí)它會(huì)自動(dòng)打開(kāi)。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單但有損發(fā)動(dòng)機(jī)。

發(fā)動(dòng)機(jī)制動(dòng)：制動(dòng)信號(hào)使排氣閥關(guān)閉不嚴(yán)，活塞上下運(yùn)動(dòng)均受到氣流阻尼而產(chǎn)生制動(dòng)力。無(wú)磨損結(jié)構(gòu)緊湊，國(guó)內(nèi)尚無(wú)。

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