對(duì)圓周方向的電阻值的不均勻依然無(wú)法改善。

此外,采用連續(xù)硫化法時(shí),純銀靶材哪家好,如果硫化時(shí)的熱傳遞沒(méi)有設(shè)法盡量達(dá)到均勻,則擠壓后的硫化速度不一致,這樣可能電阻值的不均勻程度反而大于間歇式硫化法。特別是在圓周方向上這種傾向更顯著。
采用連續(xù)硫化法時(shí),在擠壓機(jī)的擠壓筒內(nèi)的半徑方向上有非常大的剪切速度分布,這可能會(huì)影響電子導(dǎo)電性填充劑的分散。






各種類(lèi)型的濺射薄膜材料在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀(jì)90年代以來(lái),純銀靶材生產(chǎn)加工,濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,純銀靶材加工,極大地滿(mǎn)足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導(dǎo)體集成電路制造過(guò)程中,以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線。
在被濺射的靶極(陰極)與陽(yáng)極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場(chǎng),山東純銀靶材,同高壓電場(chǎng)組成正交電磁場(chǎng)。

超純金屬的制備有化學(xué)提純法如精餾(特別是金屬氯化物的精餾及氫還原)、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等(見(jiàn)硅、鍺、鋁、銦)。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。

由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染,使得到的金屬純度受到一定的限制,只有用化學(xué)方法將金屬提純到一定純度之后,再用物理方法如區(qū)熔提純,才能將金屬純度提到一個(gè)新的高度。可以用半導(dǎo)體材料鍺及超純金屬鋁為例說(shuō)明典型的超純金屬制備及檢測(cè)的原理(見(jiàn)區(qū)域熔煉)。
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