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透射電鏡的總體工作原理是:由電子發(fā)射出來的電子束,在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡,通過聚光鏡將之會聚成一束尖細(xì)、明亮而又均勻的光斑,照射在樣品室內(nèi)的樣品上;透過樣品后的電子束攜帶有樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息,樣品內(nèi)致密處透過的電子量少,稀疏處透過的電子量多;經(jīng)過物鏡的會聚調(diào)焦和初級放大后,電子束進(jìn)入下級的中間透鏡和、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像,終被放大了的電子影像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板上;熒光屏將電子影像轉(zhuǎn)化為可見光影像以供使用者觀察。本節(jié)將分別對各系統(tǒng)中的主要結(jié)構(gòu)和原理予以介紹。

大型透射電鏡大型透射電鏡(conventional TEM)一般采用80-300kV電子束加速電壓,不同型號對應(yīng)不同的電子束加速電壓,其分辨率與電子束加速電壓相關(guān),可達(dá)0.2-0.1nm,機(jī)型可實現(xiàn)原子級分辨。低壓透射電鏡低壓小型透射電鏡(Low-Voltage electron microscope,LVEM)采用的電子束加速電壓(5kV)遠(yuǎn)低于大型透射電鏡。較低的加速電壓會增強(qiáng)電子束與樣品的作用強(qiáng)度,從而使圖像襯度、對比度提升,尤其適合高分子、生物等樣品;同時,低壓透射電鏡對樣品的損壞較小。? 分辨率較大型電鏡低,1-2nm。由于采用低電壓,可以在一臺設(shè)備上整合透射電鏡、掃描電鏡與掃描透射電鏡

觀察樣品的景深大,視場大,圖像富有立體感,可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等,淀粉掃描電鏡技術(shù)服務(wù),使人具有親臨微觀世界現(xiàn)場之感。

樣品制備簡單,只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理,就可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察,因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)。

可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量,如亮度及反差自動保持,試樣傾斜角度校正,圖象旋轉(zhuǎn),或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度,以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器,可在熒光屏上同時觀察放大倍數(shù)不同的圖象。

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