鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來(lái)的,它作為第三代太陽(yáng)能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能,近幾年來(lái)應(yīng)用量急劇增加,2008年W-Ti 靶材世界用量已達(dá)到400t,隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,這種靶材的需求量會(huì)越來(lái)越大。具行業(yè)預(yù)測(cè)其用量還會(huì)有很大的增加。國(guó)際太陽(yáng)能電池市場(chǎng)以的速度增長(zhǎng),目前世界有30 多公司參與太陽(yáng)能市場(chǎng)的進(jìn)一步開發(fā), 并已有的公司產(chǎn)品投入市場(chǎng)。







而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝,山東玫瑰金靶材,所需要的靶材純度將要求達(dá)到5甚至6N以上。銅與鋁相比較,銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率,能夠滿足!導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問(wèn)題:銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低.并且容易發(fā)生反應(yīng),導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。

為了解決以上這些問(wèn)題,需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn)、高電阻率的金屬及其化合物,玫瑰金靶材加工,因此要求阻擋層厚度小于50nm,與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的.需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等.但是Ta、W都是難熔金屬.制作相對(duì)困難,玫瑰金靶材價(jià)格,如今正在研究鉬、鉻等的臺(tái)金作為替代材料。
在深加工產(chǎn)品這一領(lǐng)域,如何來(lái)提升產(chǎn)品的技術(shù)含量和檔次,玫瑰金靶材哪家好,納米技術(shù)、納米材料的科學(xué)研究,實(shí)踐應(yīng)用是這個(gè)產(chǎn)業(yè)向產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的方向,成為當(dāng)代關(guān)注和競(jìng)爭(zhēng)的主要課題。

納米、(nm)納米技術(shù)、納米材料是當(dāng)代科技領(lǐng)域中的熱門名詞,已經(jīng)成為現(xiàn)實(shí)和潛在的巨大的應(yīng)用前景的納米銀線,已在山東、浙江、北京等地進(jìn)入人們的視野,并進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),如果按照銀的當(dāng)前價(jià)7元/克計(jì)算的話,納米銀線的價(jià)格將是銀價(jià)的350倍以上。
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