





芯片失效分析步驟:
1、非破壞性分析:主要是超聲波掃描顯微鏡(C-SAM)--看有沒delamination,激光開封機,xray--看內部結構,等等;
2、電測:主要工具,萬用表,示波器,蘇州開封機, tek370a
3、破壞性分析:機械decap,化學 decap芯片開封機
4、半導體器件芯片失效分析 芯片內部分析,孔洞氣泡失效分析。
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EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會放出光子(Photon)。如在P-N結加偏壓,此時N阱的電子很容易擴散到P阱,化學開封機,而P的空穴也容易擴散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發(fā)光點等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區(qū)晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發(fā);Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題.


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