綁定的適用范圍
?技術上來說表面平整可進行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材:
?ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結靶材;
?錫、銦等軟金屬靶;
?靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端:
?1.熔點低的靶材,酸霧吸收塔價格,像銦、硒等,金屬化的時候可能會變軟變形;
?2.貴金屬靶材,酸霧吸收塔報價,一是實際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料,建議墊一片銅片。







現(xiàn)在行業(yè)中通用的測量方法基本是手動進行的,其劣勢在于手動測試受人為因素 (用力的大小,撫順酸霧吸收塔,接觸面積等)影響較大,手動測試無法實現(xiàn)同一被測物目標的多次數值的重現(xiàn),酸霧吸收塔生產,手動測試時只能達到每次測試出來一個數值,無法做產品的分析。另外一般的電阻測量儀器受溫度和濕度的影響較大,無法測量,導致不能得出的數值,從而不能保證廣品的品質。

金屬靶材材質分為:
鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。


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