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主營：氦檢漏系統(tǒng),非標定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的發(fā)現(xiàn)。其原理是利用氣體分子在壓力差或電磁場的作用下通過固體表面時產(chǎn)生的離子化現(xiàn)象進行質(zhì)量分析，從而實現(xiàn)對特定氣體的定量測量和定位定位。該系統(tǒng)的應用范圍非常廣泛，涉及到航空航天、裝備維修保障、核工業(yè)裝置檢驗監(jiān)測等多個領(lǐng)域，對于保證產(chǎn)品的可靠性和安全性具有重要意義。同時它也為民用產(chǎn)品如汽車制造等領(lǐng)域提供了可靠的解決方案。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，因此廣泛應用于半導體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，利用了氦氣的流動性和質(zhì)量大于氮氣、氧氣等氣體這一特性。該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，真空箱氦檢漏系統(tǒng)，對于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測出來（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對測試工件進行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負責整個試驗過程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測樣品放出的低頻成分來校正測量結(jié)果而且還能使儀表具有自動反吸功能。
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