鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。







超純金屬,指的化學(xué)雜質(zhì)和物理雜質(zhì) (晶體缺陷) 含量的金屬。目前主要以化學(xué)雜質(zhì)的含量為標(biāo)準(zhǔn),常以雜質(zhì)在金屬中總含 量的百萬分之幾表示 。超純金屬是相對高純度的金屬,一般指金屬純度達(dá)到純度9以上的金屬,黑龍江1N金靶材,物理雜質(zhì)的概念才是有意義的。

材料的純度對其性能,特別是微電子學(xué)、光電子學(xué)性能影響很大,現(xiàn)代高技術(shù)產(chǎn)業(yè)要求制備出超純金屬以利于制作器件。
隨著黃金資源的開采緊張,民用、科技、、航天等用黃金量的增加,促使黃金價(jià)格節(jié)節(jié)上漲。電子廢料與黃金等成品之間的差價(jià)是比較固定的,而金銀做為,1N金靶材廠,不論在任何時(shí)候總是增值的,因此銷售市場不存在問題。電子垃圾成為黃金新礦源,取之不絕,用之不盡。真正實(shí)現(xiàn)了環(huán)保的處理、循環(huán)再生利用??梢?,電子垃圾的問題并不是不能解決,1N金靶材報(bào)價(jià),只要能讓電子垃圾“從科技中來,到科技中去”,就可以變廢為寶,產(chǎn)生良好的經(jīng)濟(jì)和社會效益。


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