





人類的生存和社會活動與濕度密切相關(guān)。隨著現(xiàn)代化的實現(xiàn),很難找出一個與濕度無關(guān)的領(lǐng)域來。由于應(yīng)用領(lǐng)域不同,對濕度傳感器的技術(shù)要求也不同。濕度是空氣中所含的水分的百分比。來表示空氣的潮濕度。
濕度傳感器即感應(yīng)周圍潮濕度傳送數(shù)據(jù)到電腦顯示數(shù)據(jù)達到駕駛員可以很好的操控車輛集成系統(tǒng)
氧化鋁傳感器的突出優(yōu)點是,體積可以非常?。ɡ缬糜谔娇諆x的濕敏元件僅90μm厚、12mg重),靈敏度高(測量下限達-110℃),1001094554共軌噴油泵總成組合,響應(yīng)速度快(一般在 0.3s 到 3s 之間),測量信號直接以電參量的形式輸出,大大簡化了數(shù)據(jù)處理程序,等等。另外,它還適用于測量液體中的水分。如上特點正是工業(yè)和氣象中的某些測量領(lǐng)域所希望的。因此它被認為是進行高空大氣探測可供選擇的幾種合乎要求的傳感器之一。也正是因為這些特點使人們對這種方法產(chǎn)生濃厚的興趣。然而,遺憾的是盡管許多國家的人員為改進傳感器的性能進行了不懈的努力,但是在探索生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定的產(chǎn)品的工藝條件,以及提穩(wěn)定性等與實用有關(guān)的重要問題.

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目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。
硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的,具有較高的測量精度、較低的功耗和極低的成本?;菟诡D電橋的壓阻式傳感器,如無壓力變化,其輸出為零,幾乎不耗電。
MEMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁,采用MEMS技術(shù)直接將四個高精密半導體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力大處,組成惠斯頓測量電橋,1001094554共軌噴油泵總成優(yōu)勢,作為力電變換測量電路,將壓力這個物理量直接變換成電量,其測量精度能達0.01-0.03%FS。
電容式壓力傳感器利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀,上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器,上橫隔柵受壓力作用向下位移,南充1001094554共軌噴油泵總成,改變了上下二根橫隔柵的間距,也就改變了板間電容量的大小,即△壓力=△電容量。



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