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武漢科銳諾-掃描電鏡能譜檢測(cè)技術(shù)服務(wù)

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掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源；點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn)，在透過后一級(jí)帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面，同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號(hào)。此時(shí)，電子信號(hào)會(huì)被樣品上方不同信號(hào)的探頭接收，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實(shí)時(shí)成像記錄（圖a）。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號(hào)有：俄歇電子（Au E）、二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線（特征X射線、連續(xù)X射線）、陰極熒光（CL）、吸收電子（AE）和透射電子（圖b）。每種電子信號(hào)的用途因作用深度而異。

C1、C2的工作原理是通過改變聚光透鏡線圈中的電流，來達(dá)到改變透鏡所形成的磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化，掃描電鏡能譜檢測(cè)技術(shù)服務(wù)，磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化（亦即折射率發(fā)生變化）能使電子束的會(huì)聚點(diǎn)上下移動(dòng)，在樣品表面上電子束斑會(huì)聚得越小，能量越集中，亮度也越大；反之束斑發(fā)散，照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過調(diào)整聚光鏡電流來改變照明亮度的方法，實(shí)際上是一個(gè)間接的調(diào)整方法，亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度，只有通調(diào)整前面提到的電子qiang中的柵極偏壓，才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動(dòng)光闌，用以改變光束照明的孔徑角，一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域，使樣品上無需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷；另一方面也能減少散射電子等不利信號(hào)帶來的影響。

熒光屏的中心部分為一直徑約10cm的圓形活動(dòng)熒光屏板，平放時(shí)與外周熒屏吻合，可以進(jìn)行大面積觀察。使用外部操縱手柄可將活動(dòng)熒屏拉起，斜放在45°角位置，此時(shí)可用電鏡置配的雙目放大鏡，在觀察室外部通過玻璃窗來聚焦或細(xì)致分析影像結(jié)構(gòu)；而活動(dòng)熒光屏完全直立豎起時(shí)能讓電子影像通過，照射在下面的感光膠片上進(jìn)行曝光。

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