熒光光譜(1) 不同的 X 射線管所發(fā)生的 X 射線能量分布是不一樣的。熒光 X 射線的激發(fā)效率取決 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射線能量。。 (2) 在陽極上，根據(jù)目的不同，有鎢、鉬、銠、鉻、銅等種類。本公司在 SFT（熒光 X射線膜厚儀）中使用的是鎢、鉬，在 SEA（熒光 X 射線分析儀）中使用的是銠、鉬（SEA5000）。鎢靶適用于 Sn 和 Ag 等的發(fā)生高能量熒光 X 射線的元素，是一種可以適用于原子序號22（Ti）以上元素的燈。鉬靶適用于 Au（特別是極薄）等的元素測定，因為 L 線可以用于激發(fā)，所以在 Al 等的輕元素測定中。銠靶適用于進行元素分析時。從特性角度來講，與鉬靶類似，但是在進行 Zr 等的測定時，可以說雙鉬靶的元素分析所適應的范圍更廣。因為銠靶不能用于 Pd 的測定，所以在 SEA5000 中，鉬靶為標配品。

熒光光譜(2) 分辨率是檢測器的問題.對于 ESI英飛思 的儀器而言,照射面積增大,效果比較好一點,比如說 可調光斑面積的 X 射線系統(tǒng),1MM 光斑的測試效果比 5MM 的測試效果差很多。 (3) 照射面積的大小直接影響測試結果的準確性，在所有測試條件不變的情況下，測試面積越大，測試的強度越高，和分辨率沒有關系，直接影響分辨率的只有狹縫（準直器）、晶體和探測器。

熒光光譜(1) 取各種標準樣品來測試（例如銅合金、鋁合金、PVC、PE 樣品等），每種樣品用相對應的方法來測試（例如銅合金就用金屬 FP 法來測試），計算與標準值之間差距。 每個樣品測試 3－5 次，取均值，然后對比所用的儀器的允許誤差就可以知道是否合格。文件上的誤差范圍只是一個參考，可以自己選擇一個對本公司的誤差范圍作為儀器的標準誤差允許范圍。 (2) 針對 EDXRF 目前有《半導體探測器 X 射線能譜儀通則》《金屬覆蓋層覆蓋層厚度測量 X 射線光譜方法》等相關，另每個公司和機構內部都有自己一套的標樣測試重復性和穩(wěn)定性要求。ESI英飛思 儀器標準，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 時相對誤差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 時相對誤差不得大于 30% 。